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使用安晟美華CVD管式爐注意事項(xiàng)

更新時(shí)間:2019-02-25      瀏覽次數(shù):989

使用安晟美華CVD管式爐注意事項(xiàng):CVD管式爐分為:真空,開(kāi)啟式,高溫,氣氛,快速升溫,多溫區(qū),立式,高溫高壓,實(shí)驗(yàn),管式爐......等等。

  CVD管式爐使用注意事項(xiàng):

  1.冷爐使用時(shí),由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過(guò)快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。

  2.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。

  3.CVD管式爐使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開(kāi)裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。

  4.爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷,屬正常現(xiàn)象。

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